橡膠空氣彈簧技術領域的核心技術

橡膠空氣彈簧技術（shù）領域的核心技術
橡膠空氣彈簧自然環境振動早已成為了製約械加工設備和檢測儀器度（dù）和特點提升的主要要素。尤其是以步進電掃描儀光刻技術為代表的集成（chéng）電路工藝電（diàn）子器件生產設備，技術性抗（kàng）壓強度（dù）和複雜（zá）性高，橡膠空氣彈簧重要性（xìng）能參數做到了原來工藝的（de），意味著了械加工的較高設備。
橡膠空（kōng）氣彈簧高減震已變成（chéng）此類設（shè）備的關鍵核心技術；步進電掃描儀光刻技術線距已做到22nm及以下，圓晶精度級別和（hé）疊合度做到數技術，商品工件台速度做到（dào）lm/s以上，商品工件台瞬時速度做到重力加速度的幾十倍，對原有的橡膠空（kōng）氣彈簧振動明確提出（chū）了新的挑戰隔離技術（shù）。與此同時還（hái）推動商品工件操作台迅速、高瞬時速度移動，這對減震減振特點明確（què）提出了為嚴苛（kē）的規（guī）定。
三個（gè）方位的共振（zhèn）頻率都在1Hz以下，光刻技術各部件之間相對位置（zhì），如光刻技術測微目鏡與單晶矽片表層的間距，都是有十分（fèn）嚴謹的規定，處於關閉的位置環中。在反饋意見自動控製的操縱下，規定橡膠空氣彈簧上下安裝板中間的相對位置度做到數量，而傳統（tǒng）化的精度遠遠地不（bú）可以符合要求。