中低橡膠空氣彈簧

中低橡膠空氣彈簧，中低橡膠空氣彈簧（huáng）減壓條件下的流動氣體環境已用於低壓化學蒸發澱（diàn）積、減壓（yā）外延（yán）和（hé）幾種等離子體工藝過程。所有這些工藝的（de）共同環節是抽除有害氣（qì）體。機械橡膠（jiāo）空氣（qì）彈簧和鬆（sōng）夏橡膠空（kōng）氣彈簧很適用於維持10至104Pa範圍（wéi）的動態壓強。在低壓化（huà）學蒸發澱積和等離子體工藝過程中，通過反應室的氣流主要用來連續補充在生（shēng）長（zhǎng）或蝕刻過程（chéng）中所消耗（hào）掉的反應劑（jì）。

氣體的消耗率和基片的數最、橡膠空氣彈（dàn）簧的麵積、膜層的生（shēng）長速率和（hé）氣體（tǐ）反應劑的（de）稀釋度與（yǔ）消耗量有關。在某些商用減（jiǎn）壓外延工藝中，大的氣流量稀釋反應劑以進行生長而不是蝕刻。在低壓強下外延矽（guī）時，的反應劑氣體流（liú）通常需要用左右的氫氣來（lái）進行稀釋，並流過103至104帕壓（yā）強的反應（yīng）室。減壓外延是一個相當新的技術，對於工藝過程的（de）主要部分（fèn）將保持這樣（yàng）大小的載氣流量這一點是不楚的。